TY - JOUR
AU - Pezzoli, F.
AU - Bonera, E.
AU - Grilli, E.
AU - Guzzi, M.
AU - Sanguinetti, S.
AU - Chrastina, D.
AU - Isella, G.
AU - von Känel, H.
AU - Wintersberger, E.
AU - Stangl, J.
AU - Bauer, G.
AU - DESY
TI - Raman spectroscopy determination of composition and strain in Si<sub>1−x</sub>Ge<sub>x</sub>/Si heterostructures
JO - Materials science in semiconductor processing
VL - 11
SN - 1369-8001
CY - Amsterdam [u.a.]
PB - Elsevier Science
M1 - PHPPUBDB-12804
SP - 279-284
PY - 2008
LB - PUB:(DE-HGF)16
UR - <Go to ISI:>//WOS:000271700600026
DO - DOI:10.1016/j.mssp.2008.09.012
UR - https://bib-pubdb1.desy.de/record/85955
ER -