%0 Thesis
%A Janknecht, Rebecca
%T Understanding the Solubility and Mechanical Elastic Properties of Ti–B–N Thin Films
%I TU Wien
%V Dissertation
%M PUBDB-2025-00835
%P 126 
%D 2024
%Z Dissertation, TU Wien, 2024
%X Keramische Hartstoffschichten sind zu einer Notwendigkeit geworden, um die die Eigenschaften von Werkzeugen und Bauteilen zu verbessern und damit deren Lebensdauer zu verlängern. Besonders hervorzuheben ist die Klasse der Übergangsmetallnitride, wobei kubisch flächenzentriertes (kfz) Titannitrid (TiN) als das am häufigsten verwendete und untersuchte Schichtmaterial einen Spezialfall darstellt. Um die Beanspruchbarkeit von TiN Hartstoffschichten zu verbessern, wird TiN häufig ein drittes Element zulegiert. Ein gelungenes Beispiel ist die Legierung mit Bor oder Aluminium zur Verbesserung der mechanischen Eigenschaften. Es hat sich jedoch gezeigt, dass die Löslichkeit von Bor im nichtmetallischen Gitter im Gegensatz zur Löslichkeit von Aluminium im metallischen Gitter von kfz-TiN nicht trivial ist, da das wesentlich größere Boratom aufgrund geometrischer/thermodynamischer/kinetischer Limitierungen nur zu einem sehr geringen Anteil im kfz Gitter gelöst werden kann. Zudem führt ein Überschuss an Bor zur Ausbildung weiterer Phasen (z.B. amorphen Korngrenzenphasen). In dieser Arbeit konnte gezeigt werden, dass einerseits durch kontrolliertes Einbringen von Leerstellen am Nichtmetallgitter und andererseits durch gezieltes Legieren größerer Atomen im Metallgitter eine Borlöslichkeit von bis zu 10 at.
%K Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) (Other)
%K keramische Beschichtungen (Other)
%K Löslichkeit (Other)
%K Übergangsmetallnitride (Other)
%K Röntgenbeugung (Other)
%K Mikromechanik (Other)
%K Physical Vapor Deposition (PVD) (Other)
%K hard coatings (Other)
%K solubility (Other)
%K transition metal nitrides (Other)
%K X-ray diffraction (Other)
%K micromechanical testing (Other)
%F PUB:(DE-HGF)11
%9 Dissertation / PhD Thesis
%R 10.34726/HSS.2024.122523
%U https://bib-pubdb1.desy.de/record/624366