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000623802 520__ $$aThe Large Hadron Collider at CERN will undergo an upgrade inorder to increase its luminosity to7.5 × 10$^{34}$ cm$^{-2}$s$^{-1}$. The increased luminosityduring this High-Luminosity running phase, starting around 2029,means a higher rate of proton-proton interactions, hence a largerionizing dose and particle fluence for the detectors. The currenttracking system of the CMS experiment will be fully replaced inorder to cope with the new operating conditions. Prototype planarpixel sensors for the CMS Inner Tracker with square50 μm × 50 μm and rectangular100 μm × 25 μm pixels read out by theRD53A chip were characterized in the lab and at the DESY-II testbeamfacility in order to identify designs that meet the requirements ofCMS during the High-Luminosity running phase. A spatial resolutionof approximately 3.4 μm (2 μm) is obtained using themodules with 50 μm × 50 μm(100 μm × 25 μm) pixels at the optimalangle of incidence before irradiation. After irradiation to a 1 MeVneutron equivalent fluence ofΦ$_{eq}$ = 5.3 × 10$^{15}$ cm$^{-2}$, a resolution of9.4 μm is achieved at a bias voltage of 800 V using a modulewith 50 μm × 50 μm pixel size. All modulesretain a hit efficiency in excess of 99% after irradiation tofluences up to 2.1 × 10$^{16}$ cm$^{-2}$. Further studies ofthe electrical properties of the modules, especially crosstalk, arealso presented in this paper.
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