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@PHDTHESIS{Vorobiov:623252,
      author       = {Vorobiov, Anton},
      othercontributors = {Kip, Detlef and Laarmann, Tim},
      title        = {{L}amellar gratings for reflective split-and-delay unit in
                      {XUV} spectral range},
      school       = {Helmut-Schmidt-Universität},
      type         = {Dissertation},
      publisher    = {UB HSU},
      reportid     = {PUBDB-2025-00677},
      pages        = {1 - 99},
      year         = {2024},
      note         = {Dissertation, Helmut-Schmidt-Universität, 2024},
      abstract     = {Gegenstand dieser Arbeit ist die hochpräzise Herstellung
                      von Silizium-Lamellengitterspiegeln für die reflektierende
                      Split-and-Delay-Unit (SDU) im extremen Ultraviolett- und
                      weichen Röntgenbereich (Photonenenergien von 10 eV bis ~1
                      keV). Um die gute Reflektivität der Spiegel zu
                      gewährleisten, war es notwendig, eine gute
                      Oberflächenqualität zu erhalten, um die geringe Rauheit zu
                      bewahren und die auftretenden Verformungen zu minimieren. Es
                      wurden zwei verschiedene
                      Hochpräzisions-Herstellungstechniken angewandt: a)
                      nasschemisches Ätzen und b) Diamantsägeblattschneiden. Das
                      nasschemische Ätzen in KOH führte zu ultratiefen (1 mm und
                      tiefer) Durchätzgittern, jedoch wurde die
                      Siliziumoberfläche während des Ätzvorgangs durch die
                      Ätzmaske aus SiNx-Multilayer auf SiO2 ständig angegriffen,
                      was zu zahlreichen Defekten führte, was diese Technik für
                      die Herstellung von Lamellengittern ungeeignet machte. Neue,
                      qualitativ hochwertige Lamellengitterspiegel wurden mit
                      Hilfe eines Diamantscheiben-Dicing-Verfahrens hergestellt.
                      Die im Rahmen dieses Projekts neu entwickelten
                      Dicing-Protokolle sorgen für eine größere Stabilität der
                      Diamantscheibe während des Schneidevorgangs, wodurch die
                      Verschiebung der Gitterstäbe aufgrund von Verformungen und
                      Materialabplatzungen am Rand der Schnittfuge verringert
                      wird. Die Oberflächenrauheit der neu hergestellten
                      lamellaren Gitter wurde von den zuvor erreichten ~4 nm auf
                      ~2 nm erheblich verbessert. Dank der verbesserten
                      Probenstabilität während der Herstellung konnte auch die
                      effektive Länge der hergestellten Lamellengitterspiegel
                      mehr als verdoppelt werden, nämlich von 6 mm auf 13 mm.
                      Dadurch kann die neu hergestellte SDU bei der Hälfte des
                      Einfallswinkels der früheren Aufbauten betrieben werden.
                      Dies verbessert das Reflexionsvermögen des Geräts
                      erheblich, erhöht seine Präzision und erweitert die
                      Kurzwellenlängengrenze der reflektierten Strahlung auf
                      mindestens 600 eV, was ein großer Vorteil für weitere
                      Untersuchungen der ultraschnellen Elektronendynamik ist, die
                      die Elementspezifität des weichen Röntgenbereichs nutzen.},
      keywords     = {Microfabrication (Other) / Diamond blade dicing (Other) /
                      Chemical etching (Other) / Wet etching of Si (Other) / EUV
                      optics (Other) / X-ray optics (Other) / Ultrafast
                      spectroscopy (Other) / Pump-probe spectroscopy (Other)},
      cin          = {DOOR ; HAS-User},
      cid          = {I:(DE-H253)HAS-User-20120731},
      pnm          = {6G2 - FLASH (DESY) (POF4-6G2)},
      pid          = {G:(DE-HGF)POF4-6G2},
      experiment   = {EXP:(DE-H253)F-FL24-20150901},
      typ          = {PUB:(DE-HGF)11},
      doi          = {10.24405/17105},
      url          = {https://bib-pubdb1.desy.de/record/623252},
}