Home > Publications database > Verfahren und Monitordetektor zur Bestimmung der Intensität von gepulster VUV - oder EUV- Strahlung sowie Verwendung eines derartigen Monitordetekors > print

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520 _ _ |a Hauptanspruch: Verfahren zur Bestimmung der Intensität von hochenergetischer, gepulster VUV- oder EUV-Strahlung mit folgenden Verfahrensschritten: - Durchstrahlung einer mit Gas bei einem definierten Druck <10^-4 hPa gefüllten Wechselwirkungszone (3) in eienr definierten Strahlrichtugn 1 zur Bildung von Photoelektronen und Photoionen,- Beschleunigung der Photoionen und Photoelektronen in einem definierten Winkel zur Strahlrichtung (1) durch ein elektrisches Feld derart, dass dadurch keine Ladungsvervielfachung entsteht, - seperate Detektion der beschleunigten Photoelektronen und der beschleunigten Photoionen und - Bildung eines gemittelten Detektionssignals für die generierten Photoionen als kalibrierbares Signal und eines pulsaufgelösten Detektionssignals für die generierten Photoelektronen
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Marc 21