%0 Patent
%A Richter, Mathias
%A Gottwald, Alexander
%A Kroth, Udo
%A Bobashev, Sergey V.
%A Sorokin, Andrey A.
%A Shmaenok, Leonid A.
%A Feldhaus, Josef
%A Gerth, Christopher
%A Tiedke, Kai
%T Verfahren und Monitordetektor zur Bestimmung der Intensität von gepulster VUV - oder EUV- Strahlung sowie Verwendung eines derartigen Monitordetekors
%M PUBDB-2017-11537
%@ DE 102 44 303 B4 2004.12.30
%D 2004
%X Hauptanspruch: Verfahren zur Bestimmung der Intensität von hochenergetischer, gepulster VUV- oder EUV-Strahlung mit folgenden Verfahrensschritten: - Durchstrahlung einer mit Gas bei einem definierten Druck <10^-4 hPa gefüllten Wechselwirkungszone (3) in eienr definierten Strahlrichtugn 1 zur Bildung von Photoelektronen und Photoionen,- Beschleunigung der Photoionen und Photoelektronen in einem definierten Winkel zur Strahlrichtung (1) durch ein elektrisches Feld derart, dass dadurch keine Ladungsvervielfachung entsteht, - seperate Detektion der beschleunigten Photoelektronen und der beschleunigten Photoionen und - Bildung eines gemittelten Detektionssignals für die generierten Photoionen als kalibrierbares Signal und eines pulsaufgelösten Detektionssignals für die generierten Photoelektronen
%F PUB:(DE-HGF)23
%9 Patent
%U https://bib-pubdb1.desy.de/record/393537