000312180 001__ 312180
000312180 005__ 20240927182515.0
000312180 0247_ $$aG:(GEPRIS)238058777$$d238058777
000312180 035__ $$aG:(GEPRIS)238058777
000312180 040__ $$aGEPRIS$$chttp://gepris.its.kfa-juelich.de
000312180 150__ $$aIn-situ Untersuchungen zu Kondensation, Nukleation und Wachstum von Metallfilmen und Nanostrukturen auf organischen Oberflächen während Sputterbeschichtung$$y2013 - 2021
000312180 371__ $$aProfessor Dr. Franz Faupel
000312180 371__ $$aProfessor Dr. Peter Müller-Buschbaum
000312180 371__ $$aProfessor Dr. Stephan Volkher Roth
000312180 450__ $$aDFG project G:(GEPRIS)238058777$$wd$$y2013 - 2021
000312180 5101_ $$0I:(DE-588b)2007744-0$$aDeutsche Forschungsgemeinschaft$$bDFG
000312180 680__ $$aObwohl die Sputterdeposition von metallischen Schichten auf Polymeren eine etablierte Methode ist, sind die frühen Stadien der Deposition aufgrund der komplexen Natur des Depositionsprozesses noch nicht ausreichend verstanden. Gerade der Submonolagen¬bereich mit seinen transienten zweidimensionalen nanogranularen und verzweigten Strukturen ist von großem Interesse für zahlreiche, stark im Aufschwung begriffene Anwendungen. Solche Anwendungen reichen von der Plasmonik über Sensoren bis zur Photovoltaik. Diese Anwendungen erfordern eine präzise Kontrolle und das Verständnis der Sputterdeposition von metallischen Nanostrukturen im Submonolagenbereich auf Polymeroberflächen, bevor ein geschlossener Metallfilm entsteht. In der derzeitigen Förderperiode wurden die Frühstadien für ausgewählte Metall-Polymer-Systeme in Echtzeit mit hoher örtlicher und zeitlicher Auflösung mittels Röntgenkleinwinkelstreuung unter streifendem Einfall (GISAXS) in Verbindung mit einer speziell dafür entwickelten, mobilen Sputterdepositionskammer untersucht. Die Untersuchungen fanden an dem Messplatz MiNaXS/P03 der Synchrotronstrahlungsquelle PETRA III statt. Die gewonnenen, einzigartigen Ergebnisse ergaben, in Verbindung mit Modellierung und vielen anderen in situ und ex-situ Techniken als auch mit Computersimulationen, ein tiefgehendes Verständnis der Sputterdeposition im Submonolagenbereich. In der zweiten Förderperiode sollen noch komplexere Prozesse wie das Aufbringen von zwei dimensionalen, nanogranularen Metalllegierungsfilmen und die Sputterdeposition auf Blockcopolymerfilmen untersucht werden. Dieser Ansatz wird unter anderem erlauben, die Phasenseparation in wachsenden Nanostrukturen in situ quantitativ zu beobachten. Für nanoskalige Metalllegierungs¬strukturen sind deutliche Abweichungen zum Phasendiagramm im Volumen zu erwarten. Blockcopolymersubstrate werden ein Maßschneidern von Nanostrukturen ermöglichen, bedingt durch eine selektive Benetzung und Keimbildung auf einem der Blöcke und damit auf verschiedenen, einstellbaren Längenskalen. In einem späteren Schritt wird die Deposition unter streifendem Einfall ein weiteres spannendes Thema von Untersuchungen sein.
000312180 909CO $$ooai:juser.fz-juelich.de:821047$$pauthority$$pauthority:GRANT
000312180 909CO $$ooai:juser.fz-juelich.de:821047
000312180 980__ $$aG
000312180 980__ $$aAUTHORITY