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%0 Thesis %A Kellermann, David %T Ansteuerkonzept für kaskadierte piezoelektrische Linearmotoren für den Sub-Nanometer-Bereich %I Hochschule für Angewandte Wissenschaften Hamburg %V MS %M PUBDB-2014-03709 %D 2014 %Z Hochschule für Angewandte Wissenschaften Hamburg, Masterarbeit, 2014 %K Unveröffentlichte Hochschulschrift (GND) %F PUB:(DE-HGF)19 %9 Master Thesis %U https://bib-pubdb1.desy.de/record/172402