Home > Authorities > Grants > Record #531811
 

DFG project G:(GEPRIS)274917136

Pico-AFM höchster Präzision für die Nanometrologie und Nanofabrikation

CoordinatorProfessor Dr.-Ing. Eberhard Manske
Grant period2015 - 2021
Funding bodyDeutsche Forschungsgemeinschaft
 DFG
IdentifierG:(GEPRIS)274917136

Note: Der Projektgegenstand ist ein Pico-AFM höchster Präzision mit aktiven Sonden für Hochgeschwindigkeitsmessungen und Nanofabrikation in großen Bereichen. Die aktiven Cantilever mit thermomechanischer Aktuation, piezoresistiven Auslenkungsdetektion und langlebigen Diamantspitzen bieten in Verbindung mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine ein sehr großes Potential bei der Vermessung und Inspektion von Nanostrukturen mit Subnanometerauflösung innerhalb des ganzes Bewegungsbereiches der Nanomessmaschine. Für die hochpräzisen AFM-Messungen soll die Rückführbarkeit der Erfassung der Cantileverauslenkung gewährt werden. Dies wird mittels des in der ersten Projektphase konzipierten optischen Pico-Lagedetektors realisiert.
   

Recent Publications

There are no publications

 Record created 2023-02-02, last modified 2024-09-27
Similar records



Rate this document:

Rate this document:
1
2
3
4
5
 
(Not yet reviewed)
PUBDB :: Search :: Submit :: Personalize :: Help
Powered by Invenio v1.1.7 | join2_v2511
Maintained by l.pubdb@desy.de

Impressum | Data Privacy Policy