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DFG project G:(GEPRIS)495852613

Kinetik und Spektroskopie von Fluor-Silizium Verbindungen

CoordinatorProfessor Dr. Jürgen Troe
Grant period2022 - 2023
Funding bodyDeutsche Forschungsgemeinschaft
 DFG
IdentifierG:(GEPRIS)495852613

Note: In diesem Vorhaben soll der thermische Zerfall einfacher Fluor-Silizium- Verbindungen mit der Stoßwellenmethode untersucht werden. Die Experimente werden von theoretischen Modellierungen begleitet. Obgleich die betrachteten Reaktionen beim Plasma-Ätzen mikroelektronischer Bauteile sowie beim Abscheiden dünner Siliziumfilme in der Praxis eine Rolle spielen, sind kinetische und spektroskopische Daten noch sehr lückenhaft. Erste Experimente zu diesem Projekt haben Hinweise auf ungewöhnliche, autokatalytische Mechanismen ergeben, die auch in der Fluor-Kohlenstoff-Chemie eine Rolle spielen können.
   

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 Record created 2023-01-19, last modified 2024-09-27
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